蛍光X線膜厚計

【 日立ハイテクサイエンス SFT-110 】

～ 仕 様 ～
タイプ SFT110
測定元素 原子番号Ti（22）～Bi（83）
線源 小型空冷式X線管球
管電圧： 50kV
管電流： 40～1000µA（可変）
検出器： 比例計数管
コリメータ ○型： 0.1mmΦ、0.2mmΦ　他2種
試料観察 CCDカメラ（広域観察可能）
焦点合わせ レーザーポインタ(自動)
フィルタ 一次フィルタ： 自動切替え
試料ステージ [固定] 535×530mm
[電動] 260×210mm (移動量 X:250mm, Y:200mm)
測定ソフト 薄膜FP法 （最大5層膜、10元素）、検量線法
安全機能 試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能